Wysokorozdzielczy elektronowy mikroskop skaningowy (SEM) JSM-7200F posiada całkowicie nową konstrukcję soczewki obiektywu, z polem magnetycznym i elektrostatycznym oraz deceleracją elektronów wewnątrz soczewki, minimalizującą efekt aberracji chromatycznej i umożliwiającą stosowanie wewnątrzsoczewkowego układu detekcji elektronów SE i BSE bez pola magnetycznego obejmującego preparat.

Filtr energetyczny wykorzystywany jest z zastosowaniem metody „łagodnej wiązki” i tworzy skuteczny układ neutralizacji efektu ładowania się powierzchni w próbkach nieprzewodzących. Technika „łagodnej wiązki” pozwala na redukcję energii elektronów (wyhamowanie) tuż przed dotarciem do powierzchni próbki – bez zmniejszania strumienia elektronów w wiązce pierwotnej. Dzięki możliwości stosowania ekstremalnie małych energii elektronów oświetlających próbkę (do 10 eV) uzyskiwane są ważne informacje związane z uwidacznianymi najbardziej subtelnymi cechami rozwinięcia powierzchni próbki. Wewnątrzsoczewkowy układ detekcji elektronów wtórnych (SE) i elektronów wstecznie rozproszonych (BSE), funkcjonujący bez pola magnetycznego na próbce (field-free pozwala na wysokorozdzielcze obrazowanie wszelkiego rodzaju preparatów, w tym próbek ferromagnetycznych, zawsze z możliwością zastosowania maksymalnego powiększenia.

Mikroskop JSM-7200F daje możliwość obserwacji dużych próbek o średnicy do 200 mm. Komora preparatowa mikroskopu JSM-7200F jest wyposażona w odpowiedni port EBSD, umieszczony koplanarnie z portem EDS w płaszczyźnie, która jest prostopadła do osi pochyłu stolika próbki.

Najważniejsze parametry mikroskopu JSM-7200F:

• Zakres powiększeń: 25x do 1.000.000x (dla formatu 120 mm x 90 mm)
• Napięcie przyspieszające: 100 V do 30 kV
• Prąd wiązki: 1 pA do 400 nA
• Rozdzielczość: 0,7 nm (15 kV) 0,8 nm (1 kV)

Mikroskop umożliwia detekcję elektronów wewnątrz soczewki obiektywu in-lens:

• Upper Electron Detector (UED) dla detekcji elektronów wtórnych (SE) lub elektronów wstecznie rozproszonych (BSE),
• Upper Secondary Electron Detector (USD) dla detekcji elektronów wtórnych (SE),
• jednoczesnea wewnątrzsoczewkowa detekcja elektronów wtórnych SEi elektronów wstecznie rozproszonych BSE.

Detekcja elektronów wtórnych (SE) poza soczewką obiektywu:

• pozasoczewkowy detektor elektronów wtórnych Everhardta-Thornleya.

Detekcja elektronów wstecznie rozproszonych poza soczewką obiektywu:

• pozasoczewkowy wysuwany detektor elektronów wstecznie rozproszonych.

Mikroskop wyposażony jest w czteropolowy detektor BSE firmy DEBEN oraz oprogramowanie SmileView™ umożliwiające:

• rekonstrukcję 3D topografii powierzchni,
• wizualizację 3D przy dowolnym poziomie lub kącie powiększenia,
• metrologię powierzchni,
• charakteryzowanie chropowatości i tekstury powierzchni zgodnie ze wszystkimi najnowszymi standardami (ISO, JIS, ASME itp.).